文字サイズ

用語集

用語検索

更新日:2023年06月14日

SIMS

読み方:しむす 英語表記:Secondary Ion Mass Spectrometry

ppbレベルの極微量不純物元素を定性、定量できる高感度な分析手法です。試料から放出された2次イオンの質量を分析することにより、元素の種類とその濃度を測定します。連続的にデータを取得することにより深さ方向分析が可能です。

関連用語