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更新日:2023年06月14日

2次イオン

読み方:にじいおん 英語表記:Secondary Ion

試料に高エネルギーのイオンビームを照射し発生するイオンの事です。2次イオンを検出する分析手法としてSIMSがあります。SIMSは元素の定量や深さ方向の分析を行います。

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