プラズマリアクター(ぷらずまりあくたー) - ヤマト科学用語集

用語集

用語検索

更新日：2019年02月19日

プラズマリアクター

読み方：ぷらずまりあくたー英語表記：Plasma Reactor

プラズマリアクターとは
プラズマクリーナーとは、チャンバー内のガスを高周波でプラズマ化し、化学反応を利用して有機系物質（C/H/O等）を再ガス化して除去あるいは表面結合し改質を行い、洗浄や特性変化（疎水性を親水性にする等）を行います。

プラズマリアクターの原理
プラズマリアクターは、DP（Direct Plasma（ダイレクトプラズマ）モードを使用します。ステージをグランドに接続し、対向する上部電極を高周波電源に接続する方式で、RIE方式と違いステージ側にはバイアス電圧が掛からず、処理対象物にイオン入射が殆ど無い為、プラズマ雰囲気全体に処理対象物が暴露されるので等方性の処理となり、プラズマ雰囲気に曝されている面全体の処理が可能となります。
プラズマリアクターでは、電位を持たない酸素フリーラジカル原子を積極的に利用し、酸素と結合する有機系物質（C/H/O等）を再ガス化してクリーニングあるいは表面結合し改質を行い、洗浄や特性変化（疎水性を親水性にする等）を行います。

カテゴリ：科学・産業機器