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製品情報

製品詳細

プラズマリアクター

PR500(フローメータ仕様)

商品コード:215007

型式:PR500(フローメータ仕様)

チャンバ

ウエーハアッシング状態

製品概要

バレル式高周波低温プラズマでウエーハのレジストに

プラズマリアクター(PR500(フローメータ仕様))の特徴

特徴

低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネル(PR510)の採用により、さらに操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。

製品特徴

大口径(φ215mm)の石英チャンバーを装備

製品特徴

発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ

製品特徴

操作の簡単なタッチパネル方式(PR510)

用途

●フォトレジストの除去
●部品の洗浄
●界面活性処理
●マイクロ研磨
●ウエーハ、ガラス基板に対応

主な仕様

仕様


商品コード 215007
型式 PR500(フローメータ仕様)
方式 DP方式バレル型
制御部 高周波出力 Max.500W
制御部 発振周波数 13.56MHz
制御部 同調方式 オートチューニング
反応部 反応槽 石英製 φ215×305mm
反応部 反応ガス系 2系統(O2/CF4
反応部 制御系 手動
反応部 配管系材質 SUS、テフロン
内寸法(径×奥行) φ215×305mm
外寸法(幅×奥行×高さ) 438×520×760mm
電源容量 AC100V 9A
ブレーカ容量および電源設備容量 15A
重さ 60kg
価格(税抜) 6,200,000円



FAQ

Q 高周波利用設備申請は必要ですか。
A

必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

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Q テスト用の装置はありますか。
A

東京都所在の弊社門前仲町別館 1階試験室に設置されています。
門前仲町別館 所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
 ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/
販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/

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Q ガス配管接続用のスウェージロック・ナット・フロントフェルール・バックフェルールは入手可能ですか。
A

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

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Q 真空ポンプは付属していますか。
A

付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。

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Q 真空ポンプの接続口はどのような形状ですか。
A

NW25フランジとなっています。

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Q 建築現場の作業環境におけるアスベスト測定の前処理装置として実績はありますか。
A

あります。
アプリケーション情報の提供やサンプルテストの実施も可能です。
ご希望がございましたら、弊社WEBサイト お問い合わせお申し込みフォーム へご連絡いただければ、折り返し担当者よりご連絡申し上げます。

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Q 建築現場の作業環境におけるアスベスト測定の前処理に使用するのは、どの型式が向いていますか。
A

①3つチャンバーがあり、作業現場が違う3つのサンプルを同時処理出来る。
②試料皿 小・試料皿 大・試料棚が各4個ずつ標準付属されているので、架台を作成したり別途準備する必要がない。
③2006年から数多くの納入実績や実験実績を有している。
以上の理由からPR300が推奨となります。
PR200も実績を積みあげてきており、PR300に付属している試料棚が1個付属されていて、オートチューニングであるというアドバンテージもあるので、最近ではPR200も同時に推奨いたしております。

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