製品情報
商品コード：215012
型式：PR510（マスフローメータ仕様）
バレル式高周波低温プラズマでウエーハのレジストに
低温プラズマ、バレル型の定番の装置です。オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッチパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。
大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
●フォトレジストの除去
●部品の洗浄
●界面活性処理
●マイクロ研磨
●ウエーハ、ガラス基板に対応
| 商品コード | 215012 |
|---|---|
| 型式 | PR510（マスフローメータ仕様） |
| 方式 | DP方式バレル型 |
| 制御部 高周波出力 | Max.500W |
| 制御部 発振周波数 | 13.56MHz |
| 制御部 同調方式 | オートチューニング |
| 反応部 反応槽 | 石英製 φ215×305mm |
| 反応部 反応ガス系 | 2系統（O2/CF4） |
| 反応部 制御系 | タッチパネルからの自動シーケンス |
| 反応部 配管系材質 | SUS、テフロン |
| 外形寸法・重さ | 仕様書参照 |
| 内寸法（径×奥行） | φ215×305mm |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 520×630×760mm |
| 電源容量 |
三相AC200V
8A
ブレーカ容量および電源設備容量 15A |
| 重さ | 70kg |
| 価格（税抜） | 8,600,000円 |
必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について
東京都所在の弊社門前仲町別館 １階試験室に設置されています。
門前仲町別館 所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/
サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
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販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/
可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。
NW25フランジとなっています。
反応ガス（O2・CF4）は0.1～0.2MPa、パージガス（N2）は0.05～0.1MPaの圧力で供給してください。
ヤマト科学の全製品、及び一部取り扱いメーカーの製品カタログです。
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