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ヤマト科学仕入先メーカー

メーカー辞典【株式会社堀場エステック】

企業データ

当社は、最先端技術の結集により生産される半導体デバイスの製造に必要不可欠な質量流量制御機器「マスフローコントローラ(以下MFC)」を日本発・純国産で開発致しました。
その性能が認められ、半導体パネルと液晶パネルの製造業界において知名度も高く、40年の実績と信頼を誇っております。
また、現在では、同機器で世界トップレベルの技術とシェアを持ち、業界をリードし続けています。

注力分野

半導体プロセスで培ってきた当社の流体制御や液体気化技術は、製薬・食品・医用の分野に活躍の場を広げています。
ガス混合器:MU-3000シリーズは、発生成分に応じたガスマスフローコントローラを搭載し、簡単操作で混合ガスを発生することができます。2成分から最大6成分のガス混合までラインナップを用意しております。脱臭炭や燃焼用ガス発生装置の性能評価試験の模擬ガス発生にて当社のガス混合技術は、貢献しております。
キャパシタンスマノメータ:VGシリーズは、標準仕様の自己温調に加えて独自の電極構造により、高精度・高安定を実現しました。また、プロセスガスモニタ:RGAシリーズは、真空チャンバー内の残留ガスや水分をパソコンからモニタリングが行うことができます。ロジック、メモリ、通信デバイスやディスプレイといった電子デバイスの生産プロセスだけでなく、食品・製薬といった乾燥のプロセスにおける品質管理に真空計測技術でお応えします。

技術動向

当社主力製品であるマスフローコントローラは、さまざまな用途のガス種や流量に合わせたで課題解決を顧客提案するべく進化してきました。
その為、現在のラインナップには、汎用性の高いベーシックモデル、マルチレンジ・マルチガス機能が付加されたモデル、オールメタルモデルや圧力センサを搭載したモデルといった顧客ニーズにお応えする高精度・高安定のマスフローコントローラを追及してきました。
そこに付随するマスフローコントローラを搭載した機器であるガス混合器:MU-3000シリーズは、前身モデルのMU-2000シリーズから新たな機能が追加されました。ガスの混合が2成分のみのモデルから2成分から最大6成分までの混合ガスが対応可能なモデルとなり、PCからの簡単操作かつデータのロギングも行うことができるようになりました。
また、新しく当社製品ラインナップに加わったキャパシタンスマノメータ:VGシリーズは、真空測定範囲の対応幅が1Torr~1000Torrまでに広がり、幅広い顧客ニーズにお応えできるようになりました。

取り扱い製品情報

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