製品情報
型式：MICROPOLE System
メンテナンスも容易な世界最小クラスのプロセスガスモニタ
・ 半導体や液晶パネル、太陽電池などの成膜プロセスにおいて、チャンバの全圧及び残留しているガスの分圧を計測可能な質量分析計
・ 質量検出部には9つの四重極部で構成し、「世界最小クラスのサイズ」「軽量化」「高圧化・低真空」を実現
・ 真空チャンバや機能性フィルムの薄膜形成工程でのガス分析、ガスプロセス管理に最適
・ 低真空（高圧）域0.5Pa(3.8mTorr)での操作可能、追加の設備が不要
・ センサー部他社比20分の1の大きさ（2015年当社調べ）
・ ユーザーによるセンサ交換可能で休止期間なし
・ PC用ソフトで各種グラフ生成、わかりやすい結果表示
・ 9つの四重極部独自構造で省スペースを実現
・ ドライコーティングにおけるチャンバ内のプロセスガス管理
・ PVD・CVDなどの薄膜形成工程においてチャンバ内の不純物や残留ガスを計測
・ 真空乾燥工程において水分・溶出ガスをモニタリング
| センサ | |||
| 型式 | SMPA7-2/65＊ | SMPA5-2/100＊ | SMPA1-4/300＊ |
| 出力上昇上限圧力（N2） | 0.5 Pa | 0.2 Pa | 0.2 Pa |
| 最大使用圧力（N2） | 0.9 Pa | 0.6 Pa | 0.4 Pa |
| 分解能（半値幅：N2） | 1.2±0.3 AMU | 1.0±0.3 AMU | 1.8±0.3 AMU |
| スペクトラムアナライザ | |||
| 型式 | QL-SG01-065-1A | QL-SG01-100-1A | QL-SG01-300-1A |
| 質量検出範囲 | 2-65 AMU | 2-100 AMU | 4-300 AMU |
| 質量分離方式 | 四重極質量分離 | ||
| 検出器 | ファラデーカップ | ||
| スキャンスピード | 1 sec/scan for 1 gas (10 sec/scan for 10 gases) | ||
| 使用範囲温度 | 15～45℃ | ||
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