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製品情報

製品詳細

小型流量コントローラ(MF-CS10C)

Compact Mass Flow Controller

製品概要

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

小型流量コントローラ(MF-CS10C)の特徴

専用電源不要。

電源電圧はDC24V。汎用の単電源で動作します。AC100Vで使用できるアププタセットもご用意しています。

大流量でもコンパクト

0.5LM~50LMの大流量に対応可能で小型流量センサの操作性を追求、さまざまなシーン、用途にベストな選択が可能です。

主な仕様

仕様


型式 MF-CS10C
ガス種 Air/N2/Ar/O2/CH4/C3H8/CO2/都市ガス
ボディー SUS(禁油)ボディー
応答速度 50msec
流量 0.5~50LM
流量測定範囲 3~100%F.S(精度保証範囲)
外寸法(幅×奥行×高さ) 30×70×70mm
電源容量 AC100V 0.25A
重さ 0.2kg
備考(重さ) 継手の大きさによって重さが変化致します。
価格(税抜) 80,000円