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機器

マスフローコントローラ

MF-Cシリーズ

主な仕様

仕様


型式 ガス種 ボディー 応答速度 流量 流量測定範囲 外寸法(幅×奥行×高さ) 電源容量 重さ 価格(税抜)
MF-CP10N Air/N2 樹脂ボディー 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 30×70×70mm AC100V 0.25A 0.2kg 80,000円
MF-CS10C Air/N2/Ar/O2/CH4/C3H8/CO2/都市ガス SUS(禁油)ボディー 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 30×70×70mm AC100V 0.25A 0.2kg 80,000円
MF-CS10N Air/N2/Ar/CH4/C3H8/CO2/都市ガス SUS(禁油無し)ボディー 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 30×70×70mm AC100V 0.25A 0.2kg 80,000円