製品情報

製品詳細

VC-1000

型式：VC-1000

Injection system

液体材料気化システムのコンパクトサイズモデル

コンパクトかつ専用のバブリングタンク、気化タンクが不要

型式	VC-1000
液種	TEOS、P(OCH3)3、C6F6
設定温度	Max.150℃
オプション	空圧弁
リーク規格	1×10-8Pa・m3/s(He)以下
内部リーク規格	1×10-6Pa・m3/s(He)以下
標準継手	液体入口：1/8 inch VCRタイプMale、ガス出口：1/4 inch VCRタイプFemale
外寸法（幅×奥行×高さ）	93×40×127mm
備考（寸法）	奥行に継手部含まず
電源容量	AC100V 0.2A
重さ	0.7kg
価格（税抜）	630,000円～

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