製品情報
型式：VGシリーズ
オールメタル構造の耐食性に優れた高精度真空計
独自の電極構造により高精度・高安定を実現した真空計です。様々な真空アプリケーションにご使用いただけます
・ 自己温調機能（標準装備）により材料やプロセスに応じた最適温度の設定が可能
・ 独自の電極構造により高精度・高安定性を実現
・ 自己温調型では最小クラスで装置の省スペース化が可能（VG-221）
・ 真空熱処理炉のような各種真空装置の圧力監視
・ 除害ラインの圧力監視
・ 各種材料タンクの蒸気圧確認
・ 乾燥機：フリーズドライ工程の品質管理
| VG-221 | VG-521 | VG-527 | ||
| F.S.測定レンジ | 133.32 Pa | 1.3332 kPa、13,332kPa、133.32kPa | 133.32 Pa | 1.3332 kPa、13,332kPa、133.32kPa |
| センサ部温調温度 | 55℃／100℃ | 100～200℃ | ||
| 精度 | 0.5％R.S. | 0.25％R.S. | 0.5％R.S. | 0.3％R.S. |
| 使用温度範囲 | 10～45℃（55℃温調タイプ） | 10～50℃（100℃温調タイプ） | 10～50℃ | |
| 接ガス部材質 | SUS316L、Ni合金 | |||
| デジタル通信 | ナシ | ナシ | ナシ | EtherCAT（アナログ出力可） |
| 標準継手 | KF16、1/2VCR Female、ICF34、1/4VCR Female、OD 1/2 L16（ストレート配管） | 1/2VCR Female | ||
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