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製品情報

製品詳細

キャパシタンスマノメータ VG-200Sシリーズ

VG-211S / VG-221S

型式:VG-211S / VG-221S

キャパシタンスマノメータ VG-200Sシリーズ(VG-211S / VG-221S)

  • キャパシタンスマノメータ VG-200Sシリーズ(VG-211S / VG-221S)

製品概要

自己温調に加えて常温仕様を選択可能に。オールステンレス構造で、安定した真空計測をコンパクトに実現

キャパシタンスマノメータ VG-200Sシリーズ(VG-211S / VG-221S)の特徴

独自の電極構造により高精度・高安定性を実現。真空プロセスの変化をすばやく捉えて、さまざまな産業のニーズに応える。

VG-211Sは常温タイプ、VG-221Sは55℃または100℃のセンサ部温調タイプに対応し、用途に合わせて選択できます。
自己温調型では最小クラス(※)のコンパクト設計です。
接ガス部にはSUS316Lを採用したオールステンレス構造を採用。
※VG-221S。2026年3月現在、(堀場エステック社調べ)

使用用途

・ 除害ラインの圧力監視
・ 各種材料タンクの蒸気圧確認
・ 乾燥機:フリーズドライ工程の品質管理
・ 真空熱処理炉のような各種真空装置の圧力監視

型式VG-211SVG-221S
F.S.測定レンジ133.32 Pa(A)1.3332 kPa(A)13.332 kPa(A)133.32 kPa(A)133.32 Pa(A)1.3332 kPa(A)13.332 kPa(A)133.32 kPa(A)
センサ部温調温度常温(ヒータなし)55 ℃/100 ℃(自己温調) ※1
精度 ※20.5 %R.S.0.25 %R.S.0.5 %R.S.0.25 %R.S.
分解能0.03 %F.S.0.01 %F.S.0.03 %F.S.0.01 %F.S.
ゼロ温度係数0.01 %F.S./℃0.005 %F.S./℃0.005 %F.S./℃0.0025 %F.S./℃
スパン温度係数0.05 %R.S./℃0.03 %R.S./℃0.03 %R.S./℃0.02 %R.S./℃
応答時間< 60 msec
使用温度範囲 ※310~50 ℃
接ガス部材質SUS316L
加圧限界300 kPa(A)350 kPa(A)300 kPa(A)350 kPa(A)
出力信号0~10 VDC 負荷抵抗:10 kΩ以上
I/OコネクタD-Sub 15pin
電源電圧+15 VDC±5%, 0.1 A max. -15 VDC±5%, 0.1 A max.+15 VDC±5%, 0.6 A max. -15 VDC±5%, 0.6 A max.
24 VDC±5%, 2.4 W max.24 VDC±5%, 14.4 W max.
暖機時間15 分60 分(55 ℃温調タイプ)
120 分(100 ℃温調タイプ)
オープンコレクタ出力定格電圧:30 V 定格電流:50 mA
Re-Zero入力無電圧接点入力 接点開放電圧:13 V 最大接点電流:1.3 mA
標準継手 ※4KF16, 1/2 inch VCR Female, ICF34, 1/4 inch VCR Female
※1: センサ部温調温度は銘板に記載されています。センサ部温調温度はご注文時にご指定ください。
※2: 直線性、ヒステリシス、再現性を含みます。(環境温度25 ℃にて)
※3: 弊社が定める環境において、本製品の周囲に熱源が存在する場合や、本製品を複数台密着状態で設置する場合などでは、弊社規定の環境温度よりも上昇する場合があります。
※4: 継手はご注文時にご指定ください。