製品情報
型式：MVシリーズ
純水や液体材料を気化システム
液体材料気化システムは純水や液体材料を気化（ガス化）する気化システムです。キャリアガスを用いた気液混合方式により液体材料を瞬時に気化します。液体材料の流量計測を行う液体マスフローメータ、キャリアガスの流量制御を行うマスフローコントローラとの構成になります。
・ 気液混合気化方式により、高沸点液体材料の安定気化が実現
・ 高効率気化方式により、自己分解材料の安定気化が実現
・ MV-2000はトルネードフロー方式の採用により、当社従来品（中空構造）より気化面積を増やすことにより、気化効率の向上を実現しました。
・ 低温度・大流量発生が可能
・ コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能
・ RoHS指令対応
・ 各種生産装置への搭載：半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング
・ 一般産業：雰囲気ガス制御、混合ガス発生
・ 研究・開発：各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
・ ラボ：各種実験用ガス流量制御機器
| 型式 | MI-1000 | MV-2000 |
| 対応液種 | H2O／IPA／TEOS／SiCl4 他（HCl、HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く） | |
| 設定温度 | Control Valve:最大140℃ | Control Valve: 最大140°C Vaporizer: 最大200°C |
| 耐圧 | 1.0MPa (G) | |
| 標準継手 | 液体入口：1/8 VCRタイプ Male、 ガス入口：1/4 VCRタイプ Female、 ガス出口：1/4 VCRタイプ Male | 液体入口：1/8 VCRタイプ Male、 キャリアガス入口：1/4 VCRタイプ Female、 ガス出口：1/2 VCRタイプ Male |
| 型式 | MVシリーズ |
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