最大6ガス成分を混合可能なシステム

多成分ガス混合装置（MU-3000）の特徴

製品概要

発生ガス成分に応じたマスフローコントローラを搭載し、簡単操作で混合ガスを発生出来ます。
プログラム運転機能によりガス濃度の設定可能で、自社開発したガスミキサーを搭載、性質の異なるガスを混合する場合でも、均一に発生することも出来ます。

特長

・px 安定した濃度のガス発生：質量流量制御により供給圧力・環境温度変化の影響を受けずに正確な濃度の混合ガスが発生可能
・ 多様なガス種への対応：マルチガス・マルチレンジ機能モデルのマスフローコントローラを搭載しているので、ガス種・流量レンジの変更がお客様にて実施
・ 簡単操作：専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単実施。プログラム機能によりお好みのレシピ作成が可能



・ 総発生流量：50SLM
・ 幅広い流量レンジに対応：少流量（数SCCM）から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。各種アラーム設定による状態管理が容易です
・ 運用状態の記録を残すことが出来る各流量のロギング機能、流量異常・外部異常警報・通信異常などのアラーム機能を搭載

使用用途

・ 各種触媒の研究開発における模擬ガスの導入；触媒の浄化性能、改質性能を評価。
・ 各種センサーの研究開発：ガス濃度変化、環境温度の変化に対するセンサーの出力特性の評価。
・ 食品・薬品の封入ガス：食品を袋・缶詰めする際に、保存用のガス封入時の混合ガス作製。

製品シリーズ一覧