ワイドな流量制御範囲のマスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラ（SEC-N100シリーズ）の特徴

製品概要

10 SCCMから1000SLMのワイドな流量制御範囲に対応可能なマスフローコントローラで、常温の気体だけでなく腐食性ガスも対応可能です。

特長

・ お客様のニーズにあった通信方式をラインアップしたアナログ／デジタル通信 兼用モデル
・ マルチレンジ・ マルチガス機能を搭載：お客様ご自身でマスフローコントローラの使用ガスや流量レンジを変更可能
・ デジタル補正機能搭載によるセットポイント精度実現。メタル仕様は、 腐食性ガスにも対応可能（N100MGM）

使用用途

・ 各種生産装置への搭載：半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング 等
・ 一般産業：バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測 等
・ 研究・開発：各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器 等
・ ラボ：各種実験用ガス流量制御機器、サンプリングガス流量制御機器 等

製品シリーズ一覧

	SEC-N112MGM SEC-N114MGM SEC-N115MGM SEC-N116MGM SEC-N117MGM	SEC-N122MGM SEC-N124MGM SEC-N125MGM SEC-N126MGM SEC-N127MGM	SEC-N132MGM SEC-N134MGM SEC-N135MGM SEC-N136MGM SEC-N137MGM	SEC-N142MGM SEC-N144MGM SEC-N145MGM SEC-N146MGM SEC-N147MGM	SEC-N172R SEC-N174R SEC-N175R SEC-N176R SEC-N177R
ガス種	常温の気体、腐食性ガス、など
フルスケール流量	10～550SCCM 1～10SLM	22～50SLM	100SLM	200SLM	300～1000SLM
標準継手	1/4" VCR相当、1/4" Swagelok相当		1/2" VCR相当、3/8" Swagelok相当		1/2" VCR相当、1/2" Swagelok相当
バルブタイプ	非通電時 閉（クローズ）：C		非通電時 閉（クローズ）：C / 開（オープン）：O		非通電時 閉（クローズ）
接ガス部材質	SUS316L　PTFE 磁性ステンレス ＊型番末尾「MGR」はフッ素ゴム含む		SUS316L ＊型番末尾「MGR」はフッ素ゴム含む		SUS316 / SUS304　PTFE 磁性ステンレス　フッ素ゴム
通信電源仕様	102：デジタル・アナログ 104：デバイスネット 105：CC-Link 106：プロフィバス 107：EtherCAT

※その他仕様につきましてはお問い合わせください
※SCCM、SLMはガス流量（Standard cc/min、Standard L/min： 0℃、101.3kPa）を表す記号です
※使用には信号ケーブルと電源ユニットが必要です