高温環境での液化ガスや液体材料の流量制御可能なマスフローコントローラ

高温対応デジタルマスフローコントローラ（SEC-8000シリーズ）の特徴

製品概要

・ 高温環境（最大120℃）までの環境で使用できる高温対応可能。
・ 交換環境での液化ガスや液体材料の流量制御に最適。
・ パージ時には、150℃のベーキングが可能。
・ 100SLM（N2)の大流量制御に対応したモデルあり。

特長

・ 15℃から120℃までのラインナップ豊富な高温環境対応
・ TEOS、H2O、N2等のガス種に対応
※対応ガス種はお問い合わせください
・ 高精度：±1.0％S.P.（セットポイント）
・ 高速応答：1秒以内（T98）
・ ウルトラクリーン対応

使用用途

・ 各種生産装置への搭載：半導体、LED、光ファイバー
・ 精密水分添加システム、液体材料気化供給システム
・ ラボ：各種実験用ガス流量制御機器 等

製品シリーズ一覧