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製品情報

製品詳細

多成分ガス混合装置

MU-35XX

型式:MU-35XX

PCは別売

  • 多成分ガス混合装置(MU-35XX)

製品概要

マスフローコントローラを搭載した、混合ガス発生装置

多成分ガス混合装置(MU-35XX)の特徴

簡単操作

専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます。

多様なガス種への対応

マルチレンジ・マルチガス機能モデルのマスフローコントローラを搭載していますので、ガス種・流量レンジの変更が可能です。

6成分までのガス混合が可能

2~6成分までのガス混合が可能となっております。

主な仕様

仕様


型式 MU-35XX
流量測定範囲 2~100%F.S(精度保証範囲)
ガス種 不活性ガスから腐食性ガス対応可能(特殊ガスは別途相談)
総発生流量 100SCCM~50SLM
成分 5成分
外寸法(幅×奥行×高さ) 485×480×262mm
備考(寸法) 6成分ガスユニットの例です。
電源容量 AC100V 1A
重さ 10kg
価格(税抜) 1,900,000円