製品情報
型式：SEC-E40MK3(SET)
マスフローコントローラのベーシックモデル
フルスケールの±1.0%以内
オートゼロアジャスト機能搭載
マスフローコントローラ・電源ユニット・接続ケーブル3点セットでの価格になります。
| 型式 | SEC-E40MK3(SET) |
|---|---|
| ガス種 | N2/O2/Air/H2/He/Ar |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量 | 10～500SCCM、1～10SLM |
| 流量測定範囲 | 2～100%F.S(精度保証範囲) |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 32×127×126mm |
| 備考（寸法） | 奥行に継手部含む |
| 電源容量 | AC100V 0.2A |
| 重さ | 1kg |
| 備考（重さ） | マスフローコントローラのみの重さ |
| 価格（税抜） | 203,500円 |
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