触媒・燃料電池などの製造・開発プロセスに最適なマスフローコントローラ

液体微小デジタルマスフローコントローラ（LV-F シリーズ）の特徴

製品概要

・ 冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の流量計測制御が行えます。
・ 流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、マイクロリッター/分レベルの微量流量を正確に精度良く流量制御が行えます。
・ 専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。
・ 流量制御なしで流量計測のみのマスフローメータ「LF-Fシリーズ」もございます。

特長

・ デジタル回路の採用により、高精度・高速応答を実現
・ マイクロリッターからの微小流量制御が可能
・ 低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
・ ウルトラクリーン対応
・ RoHS指令対応（MO）

使用用途

・ ロジック、メモリ、ディスプレイなどの電子デバイス製造時の真空チャンバー内のガス流量制御
・ 触媒、ガスセンサー、燃料電池の製造・開発プロセス時のガス濃度・湿度制御

製品シリーズ一覧