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機器

表面観察装置

表面観察装置のご案内

様々な表面形状の観察または精密測定や薄膜成膜後の評価行う為の装置
半導体製造におけるエッチング後の品質管理に欠かせない触針式段差粗さ測定装置から、表面形状をオングストロームオーダーで観察出来る走査型プローブ顕微鏡、非接触表面形状測定装置、非破壊内部不良解析装置、デジタルマイクロスコープなど、様々な材料の微細表面形状及び内部不良を観察・測定出来る装置を各種取り揃えております。

製品一覧

  • コンタミネーション解析システム Cleanliness Expert

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  • ハイブリッドレーザーマイクロスコープ OPTELICSシリーズ

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  • 電気化学反応可視化コンフォーカルシステム ECCS B310

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