高空間分解能と多様な信号検出による観察能力
デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします

超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡（SU8700）の特徴

ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。

多様な観察条件を可能にするショットキーエミッター搭載FE-SEM

100Vまでの低加速電圧と最大200nAまでの照射電流
低真空モード対応
多様な情報を取得する検出系

スループット向上を支援する自動化機能搭載

SU8700は光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。また、オプション機能 ”EM Flow Creator”では、連続画像取得などの操作の自動化をサポートします。倍率やステージ位置などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM機能をブロック化し、それらを組み合わせることで一連の観察レシピを作成します。
レシピはブロックをドラッグ＆ドロップし、フローのように配置することで作成可能で、レシピを実行することで自動観察を開始します。

ユーザビリティを支援する種々の表示機能

SU8700はデュアルモニターに対応。デュアルモニター使用時は1,280x960画素の画像を2画面で表示できるほか、最大6チャンネルの信号を表示することが可能です。
また最大40,960x30,720画素での画像保存（^*）により、広い領域から高精細な情報を取得することが可能になりました。

ラットの大脳皮質超薄切片の高画素観察事例