電子顕微鏡（SEM）

走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900シリーズ

型式	最大試料寸法	試料ステージ：最大観察可能範囲	試料ステージ：最大観察可能高さ
SU3800	200mm径	130mm径（R併用）	80mm(WD=10mm)
SU3900	300mm径	200mm径（R併用）	130mm(WD=10mm)