FT-IRで用いられる測定手法の1つで、Attenuated Total Reflectionの略です。全反射法とも呼ばれます。ATR法ではダイヤモンドやゲルマニウムのような測定対象サンプルよりも高い屈折率を有するクリスタルとサンプルを密着させて赤外光を入射します。その際、エバネッセント波という微量の赤外光が測定対象に滲み込んで反射する全反射光を測定することで、試料表層部の吸収スペクトルを得ることが出来ます。滲み込み深さは数um程ですが、この滲み込み深さには波数依存性があり、入射角、クリスタルの屈折率、試料の屈折率によって変化します。フィルム、液体、粉末などの試料を前処理なく測定可能なため、汎用的測定手法として用いられています。