卓上型のSEMと組み合わせることにより研究開発から品質管理、異物分析までこなせる微小部の元素分析装置。大きな検出素子で高感度、高速マッピングに対応。

TMシリーズ専用エネルギー分散型X線分析装置（AZtecOne/AZtecLiveOne）の特徴

・ポイント(エリア)分析、線分析、元素マッピングと各種方法に対応
・高速マッピングにより5分程度で元素マップ画像の取得が可能
・高精度な自動定性機能に加え、適合スペクトル表示で元素の重なりを簡単確認
・近接する元素のピーク分離とバックグラウンド処理をリアルタイムで実施 : TruMap機能 (AZtecLiveOneは標準搭載。AZtecOneはオプション。)
・観察中にリアルタイムで元素スペクトルの確認が可能 : LiveEDS機能 (AZtecLiveOneのみ)
・操作フロー順に並んだアイコンでシンプルな操作

マッピング分析
過去のマッピングデータから、任意のエリアの元素スペクトルを再編成でき、定量計算も可能です。
形状はポイント、エリア、楕円、フリーハンド等から選択可能です。

TruMap機能

AZtecOne：オプション　AZtecLiveOne：標準搭載
X線ピークの重複する、以下のような元素の組み合わせにおいて有効です。
• 硫黄(S)-モリブデン(Mo)-鉛(Pb)
• ナトリウム(Na)-亜鉛(Zn)
• マグネシウム(Mg)–ヒ素(As)
• ジルコン(Zr)-白金(Pt)-リン(P)
• シリコン(Si)-タングステン(W)
• アルミ(Al)-臭素(Br)
• チタン(Ti)-バリウム(Ba) など

LiveEDS機能

AZtecLiveOneのみ
観察している領域のX線スペクトルと自動定性された元素情報を常に画面に表示します。
二次電子像、反射電子像だけでなく着目箇所の元素情報をリアルタイムで表示することができます。