よくあるご質問（FAQ）

小型プラズマ装置PM100型のデモ機を借りる予定ですが、電波法の高周波利用届けは出さなくて良いのでしょうか？

本装置の出力は届出を必要としない50W以下の製品となっていますので届出は不要です。

Plasmaランプが点灯しました。

真空度が高すぎるか低すぎてプラズマが発生していない可能性があります。
ガス流量を調整して復旧しなければ、真空ポンプのオイル劣化が進行していないか確認し、オイルが劣化していれば交換してください。
以上で解消しない場合真空ポンプが老朽化あるいはオイルが劣化した状態で使用し続けたことで能力が出ない状態になっている、あるいはPM100の高周波電源が短絡している可能性があります。
ご購入いただいた販売窓口担当者か弊社WEBサイト　お問い合わせお申し込みフォームへ点検修理をご依頼ください。

Pressureランプが点灯しています。

真空引き異常です。
真空バルブが閉じている又は開度が小さい場合は真空バルブを開けてください。
パージバルブが開いている場合は閉めてください。
ドアに異物が挟まっていないか、Oリングに傷がないか、配管にゆるみがないかなど、リークしていないか確認してください。

Temperatureランプが点灯しています。

高電圧電源ユニットのヒートシンク温度が90℃を超えています。
高電圧電源ユニットが冷却するまで運転を停止し、装置背面の排気ファンを塞いでいないかを確認してください。
排気ファンを塞いでいない、再発する場合は高電圧電源ユニットに何らかの異常が生じている可能性があります。
ご購入いただきました販売窓口担当者またはお客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。

真空ポンプは付属していますか。

付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。

どのような用途に向いていますか。

高分子材料の表面改質による接着強度の向上処理などに向いています。
特にPDMSなどシリコーンゴムのような処理効果が強すぎると硬化して自己吸着性を損ねるような材質に向いています。
発信周波数が100kHz以下で電源出力が50W未満固定の為アッシングレートは遅いので、レジストアッシングなど厚膜の剥離処理は時間が掛かるため、不適合ではありませんが、生産工程などタクトを重視する場合はあまり向いておりません。