よくあるご質問（FAQ）

高周波利用設備申請は必要ですか。

必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

テスト用の装置はありますか。

東京都所在の弊社門前仲町別館　１階試験室に設置されています。
門前仲町別館　所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/
販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/

ガス配管接続用のスウェージロック・ナット・フロントフェルール・バックフェルールは入手可能ですか。

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

真空ポンプは付属していますか。

付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。

真空ポンプの接続口はどのような形状ですか。

NW25フランジとなっています。

建築現場の作業環境におけるアスベスト測定の前処理装置として実績はありますか。

あります。
アプリケーション情報の提供やサンプルテストの実施も可能です。
ご希望がございましたら、弊社WEBサイト　お問い合わせお申し込みフォーム　へご連絡いただければ、折り返し担当者よりご連絡申し上げます。

建築現場の作業環境におけるアスベスト測定の前処理に使用するのは、どの型式が向いていますか。

①3つチャンバーがあり、作業現場が違う3つのサンプルを同時処理出来る。
②試料皿 小・試料皿 大・試料棚が各4個ずつ標準付属されているので、架台を作成したり別途準備する必要がない。
③2006年から数多くの納入実績や実験実績を有している。
以上の理由からPR300が推奨となります。
PR200も実績を積みあげてきており、PR300に付属している試料棚が1個付属されていて、オートチューニングであるというアドバンテージもあるので、最近ではPR200も同時に推奨いたしております。

反応ガス（O2・CF4）とパージガス（N2）の供給圧力は。

反応ガス（O2・CF4）は0.1～0.2MPa、パージガス（N2）は0.05～0.1MPaの圧力で供給してください。

高周波利用設備申請は必要ですか。

必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

テスト用の装置はありますか。

東京都所在の弊社門前仲町別館　１階試験室に設置されています。
門前仲町別館　所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
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販売代理店網
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RF反射異常が表示されました。どうしてですか。どうすれば良いでしょうか。

反射波がアラーム条件設定値を超えた際に発動するアラームです。
デフォルト値は20Wです。
まずはステージ上に導電物質を置いている場合、ステージとチャンバー外壁両方に触れていたら、電源を切ってから離し再度立ち上げて復旧するか確認下さい。
復旧しない場合、高周波出力・ガス種・ガス流量を大きく変更するかモード変更を行っていたら、下記の方法でマッチング調整を行って下さい。
この操作は整合（マッチング）がうまく取れない場合、またはチャンバ内の負荷が整合範囲に入らない時に行う操作です。
高周波出力は負荷に対して必ず整合（マッチング）を取る必要があります。
整合が取れていませんと反射波が大きくなり負荷に対して有効に出力が伝わらないばかりでなく、高周波電源の故障原因となりますので注意してください。
側板を外した状態は高周波の配線が露出していますので、それらに触れないよう十分注意して行って下さい。

１．左側板を外し、インターロックスイッチを解除します。
２．オートチューニング調整スイッチの VC1 ・ VC2 モータースイッチを DOWN 側に倒してください。
３．AUTO ／ MANUAL 切替スイッチ（ VC1 ・ VC2 ）を MANUAL 側に倒してください。約 5 ～ 10 秒間モーターの駆動音がします。
４．AUTO ／ MANUAL スイッチを AUTO 側に戻します。
５．VC1 ・ VC2 モータースイッチはそのままの位置にしておいてください。
６．この状態でプラズマ照射をして、マッチングが取れるか確認してください。
７．以上の作業が終了したら、インターロックスイッチのノブを元に戻した後、側板扉を元のように取り付けてください。
詳細は取扱説明書をご参照下さい。

ブレーカーを入れると背面冷却ファンは回り出しますが、コントローラがなにも表示されず真空ポンプも起動しません。

１．非常停止ボタンが押し込まれていませんか。
ブレーカーを切り、非常停止ボタンをひねって押される前の状態にし、ブレーカーを入れ直して下さい。
２．側面の板を外しませんでしたか。
ブレーカーを切り、側面の板が浮いていたら取付けビスを締め直してしっかり固定し、ブレーカーを入れ直して下さい。

プリント基板及びチップのワイヤボンディング前のクリーニング処理を行う際の処理条件は。

下記処理条件にて試験を行い、ソルダレジストや周囲に変色等が無いことを確認して下さい。
・高周波出力　　：200～300Ｗ
・プロセスガス　：アルゴン
・ガス流量　　　：15cc/min
・処理時間　　　：15～60秒
処理条件は一旦出力は高い方、時間は長い方から試験を行い、一次評価としては接触角計等の濡れ性で評価し、その後ワイヤボンディングを実際に行い未処理品との強度の違いを確認して下さい。
尚PDC510はPDC200・PDC210と比較してステージ寸法が大きい為、若干処理効果が出辛い傾向にありますので、高周波出力は高めに設定して下さい。

オプションのDPモードへの切り替え方法は。

装置左下の側板を外しますと、前面側に銅板とガラエポ絶縁体をH型に組み合わせた電極がプラスネジ4点で固定されています。
アクリルカバーを取り外し4点のネジを外すと電極が外れますのでH型を横向きに変える事で高周波の配線が下部電極から上部電極に結線されDPモードとなります。
電極部は高電圧が掛かる場所ですので、作業前に必ず建物側及び装置のブレーカーをOFFにして下さい。

ガス配管接続用のスウェージロック・ナット・フロントフェルール・バックフェルールは入手可能ですか。

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

真空ポンプは付属していますか。

付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。

真空ポンプの接続口はどのような形状ですか。

NW25フランジとなっています。

ガラエポ基板のワイヤーボンディング前処理をRIEモード、アルゴンガス使用にて行ったところ、基板が焦げました。

焦げた部分に出っ張りなどがあった場合は異常放電を起こした可能性があります。
ガラスなどの絶縁物質をステージ上に敷いて、異常放電を防げるか試してください。

ステージ中央にある4つのビスの上に処理対象物を置いても問題ありませんか。

基板などが完全に4つのビスの穴を覆ってしまえれば問題はありません。
ビスの穴が一部露出しているとイオンの方向性が定まらず裏面などにも処理効果が出てしまう可能性があるため、ビスの穴を覆えない寸法の処理対象物はビスの穴の上を外した位置に配置してください。

真空ポンプの排気からオゾンが排出される可能性はありますか。

真空ポンプ自体の排気経路にはオゾンの発生源となるものが無いので、装置の構造上オゾンが排気口から排出される可能性は考えられません。 吸気側につながっている装置からオゾンが発生している場合は本回答の適用外となりますのでご注意下さい。

真空ポンプは付属していますか。

真空ポンプと真空配管は付属しています。
ただし油回転真空ポンプのスタンダードタイプが標準付属仕様となるため、耐食性タイプやドライタイプへの変更が必要な場合は別途お見積りとなります。

パージ途中で『パージタイムアウト』が表示され、パージが止まってしまいました。

パージガスのガスボンベが規定圧力で供給されていない可能性があります。
ガスボンベの元栓が閉まっていれば開けてください。
二次圧が0.1MPaを下回っていれば、二次圧を上げるバルブを絞って圧力を上げてください。
二次圧を上げるバルブを絞っても二次圧が上がらない場合は一次圧を確認し、ボンベが空になっていたら交換してください。
上記を確認し問題無ければ購入戴いた販売窓口担当者に連絡し、点検修理をご依頼ください。

DPモードへの切り替え方法は。

装置左下の側板を外しますと、前面側に銅板とガラエポ絶縁体をH型に組み合わせた電極がプラスネジ4点で固定されています。
アクリルカバーを取り外し4点のネジを外すと電極が外れますのでH型を横向きに変える事で高周波の配線が下部電極から上部電極に結線されDPモードとなります。
電極部は高電圧が掛かる場所ですので、作業前に必ず建物側及び装置のブレーカーをOFFにして下さい。

高周波利用設備申請は必要ですか。

必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

テスト用の装置はありますか。

あります。
サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。 ヤマト科学営業拠点一覧
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高周波利用設備申請は必要ですか。

必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

テスト用の装置はありますか。

東京都所在の弊社門前仲町別館　１階試験室に設置されています。
門前仲町別館　所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/
販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/

ガス配管接続用のスウェージロック・ナット・フロントフェルール・バックフェルールは入手可能ですか。

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

PLASMAランプが点灯しています。

RF短絡異常のアラーム表示です。
真空度が高すぎるか低すぎるため、プラズマが発生していない可能性があります。
ガスの流量を調整してください。
ガスを止めてしまうと圧力上限を超えるため、ガスボンベのバルブが閉まっていないか、ガスがなくなっていないか、流量計が閉まっていないかなどを確認してください。
ガス流量を大きくしすぎると圧力下限である－90KPaよりも大きい数値になる可能性がありますので、-90KPaを超えている場合はガス流量を絞ってください。
真空ポンプのオイル劣化などで排気能力が落ちていると圧力加減値を超えることがありますので、オイルが劣化しているようなら交換してください。
以上に当てはまらない、解消しても復旧しない場合は高圧電源の故障が考えられるため、ご購入いただきました販売窓口担当者か、お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。

PLASMAスイッチをONしてもRF出力が上がりません。

ガスは供給されていますか。
ガスの元栓が開いているか確認してください。
GASスイッチがONになっているか確認してください。
以上を確認し問題ない場合はRF電源が故障している可能性があります。
ご購入いただきました販売窓口担当者または　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。

START/STOPスイッチを押してもポンプが起動しない。

真空ポンプの電源コードが確実に接続されているか確認してください。
真空ポンプの電源スイッチがONになっているか確認してください。
真空ポンプまでの真空配管が抜けたり外れたりしていないか確認してください。
扉が確実に閉まっているか確認してください。

Pr（反射波）の値が大きいです。

真空配管のゆるみや扉パッキンのはずれ・劣化などから真空漏れをしていないか確認してください。
真空配管はいったん外して再度クランプを締め直し、扉パッキンははずれていれば取り付けなおし・劣化していれば交換してください。
ガス量が適正か確認してください。
極端に多すぎたり少なすぎるとマッチング調整の許容を超えて反射波が大きくなる傾向がありますので、流量を調整してみてください。
処理対象物が多すぎる場合も反射波が大きくなる傾向があります。
処理量を減らして改善するかご確認ください。
 

真空ポンプは付属していますか。

付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。

真空ポンプの接続口はどのような形状ですか。

NW25フランジとなっています。

建築現場の作業環境におけるアスベスト測定の前処理装置として実績はありますか。

あります。
アプリケーション情報の提供やサンプルテストの実施も可能です。
ご希望がございましたら、弊社WEBサイト　お問い合わせお申し込みフォーム　へご連絡いただければ、折り返し担当者よりご連絡申し上げます。

建築現場の作業環境におけるアスベスト測定の前処理に使用するのは、どの型式が向いていますか。

①3つチャンバーがあり、作業現場が違う3つのサンプルを同時処理出来る。
②試料皿 小・試料皿 大・試料棚が各4個ずつ標準付属されているので、架台を作成したり別途準備する必要がない。
③2006年から数多くの納入実績や実験実績を有している。
以上の理由からPR300が推奨となります。
PR200も実績を積みあげてきており、PR300に付属している試料棚が1個付属されていて、オートチューニングであるというアドバンテージもあるので、最近ではPR200も同時に推奨いたしております。

小型プラズマ装置PM100型のデモ機を借りる予定ですが、電波法の高周波利用届けは出さなくて良いのでしょうか？

本装置の出力は届出を必要としない50W以下の製品となっていますので届出は不要です。

Plasmaランプが点灯しました。

真空度が高すぎるか低すぎてプラズマが発生していない可能性があります。
ガス流量を調整して復旧しなければ、真空ポンプのオイル劣化が進行していないか確認し、オイルが劣化していれば交換してください。
以上で解消しない場合真空ポンプが老朽化あるいはオイルが劣化した状態で使用し続けたことで能力が出ない状態になっている、あるいはPM100の高周波電源が短絡している可能性があります。
ご購入いただいた販売窓口担当者か弊社WEBサイト　お問い合わせお申し込みフォームへ点検修理をご依頼ください。

Pressureランプが点灯しています。

真空引き異常です。
真空バルブが閉じている又は開度が小さい場合は真空バルブを開けてください。
パージバルブが開いている場合は閉めてください。
ドアに異物が挟まっていないか、Oリングに傷がないか、配管にゆるみがないかなど、リークしていないか確認してください。

Temperatureランプが点灯しています。

高電圧電源ユニットのヒートシンク温度が90℃を超えています。
高電圧電源ユニットが冷却するまで運転を停止し、装置背面の排気ファンを塞いでいないかを確認してください。
排気ファンを塞いでいない、再発する場合は高電圧電源ユニットに何らかの異常が生じている可能性があります。
ご購入いただきました販売窓口担当者またはお客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。

どのような用途に向いていますか。

高分子材料の表面改質による接着強度の向上処理などに向いています。
特にPDMSなどシリコーンゴムのような処理効果が強すぎると硬化して自己吸着性を損ねるような材質に向いています。
発信周波数が100kHz以下で電源出力が50W未満固定の為アッシングレートは遅いので、レジストアッシングなど厚膜の剥離処理は時間が掛かるため、不適合ではありませんが、生産工程などタクトを重視する場合はあまり向いておりません。