よくあるご質問（FAQ）

高周波利用設備申請は必要ですか。

必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

テスト用の装置はありますか。

東京都所在の弊社門前仲町別館　１階試験室に設置されています。
門前仲町別館　所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/
販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/

ガス配管接続用のスウェージロック・ナット・フロントフェルール・バックフェルールは入手可能ですか。

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

真空ポンプの接続口はどのような形状ですか。

NW25フランジとなっています。

反応ガス（O2・CF4）とパージガス（N2）の供給圧力は。

反応ガス（O2・CF4）は0.1～0.2MPa、パージガス（N2）は0.05～0.1MPaの圧力で供給してください。