白色干渉顕微鏡（VSシリーズ）の特徴

製品概要

粗さ(うねり)、形状、膜厚という課題を一つの装置でカバーするハイスループットな計測ツール。
1.高分解能(高さ方向) : 1nm以下の粗さや立体形状が確認できます。
2.ハイスループット : 前処理不要で数秒で測定できます。
3.広域(mmオーダー) : 広範囲でのnmレベルの凹凸が測定できます。

製品の特長と測定例(できること)

①粗さ計測

・高分解能(高さ方向) : 1nm以下の粗さや立体形状が確認できます。
・広域(mmオーダー) : 広範囲でのnmレベルの凹凸が測定できます。

②立体形状計測

・高分解能(高さ方向) : 1nm以下の粗さや立体形状が確認できます。
・広域(mmオーダー) : 広範囲でのnmレベルの凹凸が測定できます。

③膜厚計測（光が通るもの）

・断面作成の必要無く、umオーダーの膜厚測定ができます。
　（透明な積層サンプル）
・多層構造の厚み計測が非破壊でできます。

原理

検出器に高画素カメラを用いた一般的な光学顕微鏡に近い光学系です。大きな違いは、試料付近の対物レンズに「干渉対物レンズ」を用いています。
光源から出た光は対物レンズ内で、2つの光路に分けられ、一方は参照面(反射ミラー)で反射され、他方は、サンプル表面で反射されます。
2つのビームは同一光路に戻り、重なり合うと、干渉パターン（干渉縞）が得られます。
（2つのビームの位相が一致していると明るく、半波長ずれると暗くなる）
干渉縞は2つのビームの光路差の情報をもっており、Z方向にスキャンした際に現れる干渉縞を解析することにより、凹凸形状データを取得することができます。

主な仕様

アプリケーション

≫材料・コンバーティングの様々な観察例（詳しくはこちら）

≫積層フィルムの異物・混入観察例（詳しくはこちら）

≫メッキの観察例（詳しくはこちら）

≫トライボロジー評価の例（詳しくはこちら）

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