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製品情報

製品詳細

製品概要

高精度で持ち運び可能な膜厚計

スマート膜厚計(SM-100S)の特徴

スマート膜厚計とは?

「測りたい“その場”ですぐに測れない」、「人によってバラつく測定結果」、「測定精度が悪い」。
膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか?スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。

  • 「持ち運び可能なハンディタイプ」:1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単。
  • 「高精度測定&簡単測定」:最薄1 μmまで検量線不要で測定できます。
  • 「非破壊・非接触測定」:サンプルを傷つけることもなく測定します。
  • 「様々なサンプルを測定」:基材(ガラス・プラスチック)を選ばず測定可能。

膜厚の測定原理:反射分光法(光干渉法)

スマート膜厚計は反射分光法(光干渉法)という方式で膜厚測定します。例えば、基板上にコーティングされた膜を測定する場合、対象サンプル上方から入射した光は膜表面で反射します(図中のR1)。さらに膜を透過した光が基板や膜界面で反射します(図中のR2)。このときの光路差による位相のずれ(位相差)によって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を求めることが出来ます。

分かりやすく操作しやすいインターフェース

スマート膜厚計はシンプルで直感的なインターフェースを採用しています。初めての方でも簡単に測定出来ます。



  • 測定結果:シンプルなインターフェースを採用しており、条件設定が簡単です。また、膜厚の絶対値が表示され、必要な測定履歴を残すことも可能です。
  • 材料編集: 膜材料の詳細表示、追加、削除がなどが可能です。
  • 測定結果:選択したデータをテキストファイルで保存したり、USBメモリに転送出来ます。

オプション

  • ペン型プローブ(画像左)
    狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能です。
  • 非接触ステージ(画像右)
    ウェットな膜や半導体ウエハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して、非接触で測定可能です。

 

主な仕様

仕様


商品コード 540000
型式 SM-100S
項目 Standard
測定方法 反射分光法(光干渉法)
測定膜厚範囲 1~50 µm サンプル屈折率が1.6の場合
多層対応 1層
測定繰り返し性 2.1σ 0.01 µm(シリコン酸化膜1 µm)
測定スポット径 Φ1 mm以下
データ出力形式 USBメモリにテキスト形式でエクスポート
外寸法(幅×奥行×高さ) 138×198×54mm
備考(寸法) 突起部含む
重さ 1.1kg
価格(税抜) 1,500,000円