ヤマト科学によるデモ対応可能！　測定されたいサンプルのご相談も承ります
卓上SEMは、次のステージへ。
シリーズ累計出荷台数5,800台を突破した卓上顕微鏡Miniscope®が最新技術を取り入れて更に進化しました。

日立ハイテク社製 卓上顕微鏡 Miniscope®（TM4000Ⅲ/TM4000PlusⅢ）の特徴

画像観察まで3分。目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。

観察・分析のフレキシビリティ
多彩なデータをオートで取得。切替も迅速！

迅速な元素マップ^*2の取得が可能

(*1)　TM4000PlusⅢの機能です
(*2)　オプション

Camera Navi^*3を使えば、こんなに簡単
カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート

(*3)　TM4000PlusⅢの機能です

＞＞動画でもご覧いただけます。

Report Creatorで手軽にレポート作成
画像とテンプレートを選択するだけでMicrosoft Word、Excel、PowerPoint 形式のレポートが完成

絶縁物試料でも前処理なしでそのまま観察可能です。

帯電現象を抑える「帯電軽減モード」
帯電しやすい試料は「帯電軽減モード」を用いることで、帯電を抑えて観察できます。
「帯電軽減モード」への切り替えは、ソフトウエア上からマウスクリックで行えます。


低真空で多彩な観察が可能
帯電しやすい粉末や含水試料などの試料も目的にあわせて観察できます。

低真空下での二次電子像（表面形状）観察を実現します。

前処理不要で絶縁物や水分・油分を含む試料の表面観察を実現
これまでの導電性試料の観察だけでなく、絶縁物や含水・含油試料まで前処理なしでそのまま観察できます。二次電子像⇔反射電子像の切替も素早く行えます。

高感度低真空二次電子検出器
高感度低真空二次電子検出器（UVD）を採用。電子線と残留ガス分子との衝突によって発生した光を検出することにより、二次電子情報を持った画像を観察することができます。また、本検出器をコントロールすることにより、電子線照射により発生した光を検出することでCL情報（UVD-CL：CL情報を含んだ画像）を取得することが可能です。

高感度低真空二次電子検出器の検出原理

加速電圧20kV対応

TM4000Ⅲ/TM4000PlusⅢは加速電圧20kV対応になりました。
EDS分析（オプション）において、より高計数の分析が可能となりました。

加速電圧20kVによるEDSマッピングの高S/N化

Multi Zigzag（オプション）

SEM観察を広い領域で行いたいという要望にお応えしました。
モータードライブステージとの併用で、SEMで撮影が困難な低倍高精細広領域観察が行えます。

STEMホルダー（オプション）

簡易的な透過電子像が観察可能です。
新開発のSTEMホルダーと高感度低真空二次電子検出器（UVD）^*4を組み合わせて使用することで、簡便に透過電子像の取得が可能です。
薄膜試料や、生体サンプルの観察に有効です。

(*4)　 UVDはTM4000PlusⅢの機能です。

作業の省力化・平均化を実現

多検体観察の自動化：観察ワークフロー自動化支援機能（TM4000PlusⅢ）^*5
ステージ移動、倍率変更、撮像などの観察手順をレシピとして保存することができます。レシピ化された観察手順は1クリックで自動実行が可能です。
多検体試料を観察するルーチンワークや観察条件等に不安を持たれている方への作業の省力化・技術の平均化を実現します。



自動粒子解析の高速化を実現：大電流機能+AZtecLiveLite粒子解析パッケージ^*5
工業品の洗浄度解析やフィルター捕集物の自動粒子解析は測定点数が多くなるため、膨大な分析時間を要します。
TM4000PlusⅢでは新たに大電流設定となるMode5を搭載。オックスフォード・インストゥルメンツ社製EDS AZtecLiveLite 粒子解析パッケージとの組み合わせで、粒子解析の高速化を図ります。










大電流モードにより画質向上
大電流モードが追加され、信号量を増加させることにより、表面観察のS/Nの向上と画質の向上（ざらつき低減）を実現しました。

計画的な装置運用を支援

計画的なメンテナンス：フィラメントインジケータ
フィラメントの交換時期の目安を表示するモニタリング機能を搭載しました。
装置利用者が複数にわたる場合、突然のフィラメント切れ→交換の心配を軽減し、計画的に装置を運用することが可能です。



いつでも装置状態をチェック：AutoOQ（Auto Operational Qualification)
SEM本体の状態をレポートとして出力し、装置状態の把握/共有を支援するソフトウェアです。
AutoOQ機能
　以下の2種類のレポートを自動実行し出力する機能
　1)AutoOQレポート →ソフト実行時の装置状態の記録
　2)Logレポート →任意の期間の使用状況の記録

新たな教育ツールとして

前処理なく電子顕微鏡の世界を体験：低真空機能+高感度反射電子検出器
摘んできた草花、大切に保管している鉱石、身近な食品等々…、様々なサンプルで電子顕微鏡の世界を体験できます。
TM4000Ⅲ/TM4000PlusⅢの低真空機能により前処理工程を軽減し、高感度の反射電子検出器で素早く画像を得ることができます。

プログラミング教育の出力装置として：観察ワークフロー自動化支援機能（TM4000PlusⅢ）^*5
高等学校の教育課程において「情報Ⅰ」が必修科目となっているように、デジタル人材の育成・確保は我が国における重要課題の一つです。
自動化支援機能では“順次実行”、“繰返し”、“条件分岐”といったプログラミングの重要概念を、TM4000PlusⅢの動作を通じて体験的に学ぶことができます。
(*5)　オプション


試料 : 研磨剤
加速電圧 : 20 kV
観察信号 : (a) STEM像, (b) 反射電子像
倍率 : 10,000倍

試料: ラットの腎臓
加速電圧 : 15 kV
観察信号 : STEM像
倍率 : 1,000倍

試料: ラットの肝臓
加速電圧 : 15 kV
観察信号 : STEM像
倍率 : 5,000倍

アプリケーションデータ

卓上顕微鏡の観察例