オートリーク機能とはどのような機能ですか。
あらかじめリーク時間を設定し、運転を停止した後自動でリークを開始・大気を導入し、設定した時間リークをし続ける機能です。
1～10分の範囲で設定でき、たとえば10分で設定すると運転停止後リークを開始し、10分リークし続けます。
大気圧に戻る時間は短いので、あらかじめリークにどのくらい時間がかかるかを計測した上でリーク時間を設定してください。
Er00（通信異常）が表示されました。
【Er00】は連動設定が「On」の状態で、接続先機器からレスポンスがない状態が一定時間続いた場合に表示されます。
下記の理由が考えられます。
◇真空ポンプ制御ユニットあるいは制御ユニット G の電源がOFFになっている。
電源を確認しOFFになっていたらONにしてください。
◇本製品と無線接続先機器の距離が10m以上離れている。
10ｍ以内に近づけてください。
◇本製品と無線接続先機器間に壁や金属製の遮蔽物がある 。
壁を挟まないように設置してください。
金属製の遮蔽物は取り除いてください。
以上の原因を解消後、一旦POWER OFFし、 再度起動してください。
上記で復旧しない場合は故障の可能性があります。
ご購入いただいた販売窓口担当者にご連絡いただくか、お問い合わせのお申し込みフォームよりご連絡をいただき、点検・修理をご依頼ください。
Er01（圧力センサ異常）が表示されました。
【Er01】は測定圧力が測定範囲外になった場合に表示されます。
下記の理由が考えられます。
◇圧力センサ部が加圧されている。
真空ポンプの配管がIN/OUT逆になっていないか確認して下さい。
逆になっていたら配管を入れ替えて、電源を入れ直してください。
上記で復帰しない場合は圧力センサの故障が考えられます。
ご購入いただいた販売窓口担当者にご連絡いただくか、お問い合わせのお申し込みフォームよりご連絡をいただき、点検・修理をご依頼ください。
Er05（リーク異常）が表示されました。
【Er05】はクリーニング運転後に1分間大気開放を行い、その後の測定圧力が900hPa（mbar）、675mmHg（Torr）、90.0kPa以下だった場合に表示されます。
下記の理由が考えられます。
◇真空配管の閉塞。
真空配管内に異物が吸い込まれたなどで配管内が閉塞している可能性があります。
真空配管を取り外して詰まりがないか確認してください。
詰まりがあれば取り除き一旦POWER OFFし、 再度起動してください。
上記で復帰しない場合はリーク電磁弁の故障が考えられます。
ご購入いただいた販売窓口担当者にご連絡いただくか、お問い合わせのお申し込みフォームよりご連絡をいただき、点検・修理をご依頼ください。
Er15（メモリ異常）が表示されました。
【Er15】は起動時にEEPROMのサムチェックで異常を検知した場合に表示されます。
一旦POWER OFFし、 再度起動してください。
上記で復帰しない場合はEEPROMの故障が考えられます。
ご購入いただいた販売窓口担当者にご連絡いただくか、お問い合わせのお申し込みフォームよりご連絡をいただき、点検・修理をご依頼ください。
Er25（高圧異常）が表示されました。
【Er25】は測定圧力が1120 hPa(mbar)または840 mmHg(Torr)・112.0 kPa以上になった場合に表示されます。
◇圧力センサ部が加圧されている。
真空ポンプの吸気口ではなく誤って排気口に真空配管を接続していないか、ご確認ください。
◇真空配管の閉塞。
真空配管内に異物が吸い込まれたなどで配管内が閉塞している可能性があります。
真空配管を取り外して詰まりがないか確認してください。
詰まりがあれば取り除き一旦POWER OFFし、 再度起動してください。
上記で復帰しない場合はリーク電磁弁の故障が考えられます。
ご購入いただいた販売窓口担当者にご連絡いただくか、お問い合わせのお申し込みフォームよりご連絡をいただき、点検・修理をご依頼ください。
ステータスバーがオレンジ色になり、『CAUTION 要クリーニング』というオレンジ色の表示がディスプレイ上に出ています。
クリーニングを行わずに積算運転時間が10時間を超えた状態で運転を開始すると表示される警告表示です。
手動クリーニングを行う事で解除されます。
ディスプレイ右上にあるLeakキー（バルブのような絵のキー、取扱説明書の操作パネル番号④）を3秒以上長押しすると手動クリーニングが開始されます。
尚オートクリーニング運転はオートリーク運転と連動して行われる為、初期設定ではオートリーク運転はOFFになっておりますのでオートクリーニング運転は行わない設定となっております。
オートクリーニング運転を運転終了後に行う為にはオートリーク機能の動作時間を設定しておく必要があります。
