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機器

二次元・三次元微細形状測定機

二次元・三次元微細形状測定機 Surfcorder

主な仕様

仕様


型式 最大サンプルサイズ 真直度精度 外寸法(幅×奥行×高さ) 電源容量
ET200A φ160×52mm X軸:0.2μm, 100mm以下 500×440×630mm 単相AC 90~240V 50/60Hz 300VA
ET200A-3D φ160×52mm X軸:0.2μm/100mm以下, Y軸:3μm/25mm以下 500×440×630mm 単相AC 90~240V 50/60Hz 300VA
ET200A-D φ160×52mm X軸:0.2μm/100mm以下, Y軸:3μm/25mm以下 500×440×630mm 単相AC 90~240V 50/60Hz 300VA