ヤマト科学によるデモ対応可能！測定されたいサンプルのご相談も承ります
「直動式検出器」を搭載した微細形状測定機
2次元･3次元表面粗さ解析及び段差測定に最適な高精度･高分解能･優れた安定性を実現

二次元・三次元微細形状測定機 Surfcorder （ET200A-3D）の特徴

特徴

・段差再現性1σ0.3nm以内を実現
・測定の触圧が10～500µN（1～50mgf)の直動式検出器を搭載
・微小測定力なため軟質試料面に対応

動式検出器とは

直動式検出器は、触針、差動トランスを一直線上に配置し、触針がトレースした表面の形状を正確に捉えることができるため、表面の微細形状を正確に測定することができます。

測定事例

三次元解析システム（ソフト）を搭載

解析システム 補助機能（i-STAR31)
・再演算
・単位切替
・自動測定（連続測定および自動降下/測定・記録上昇/戻り動作）
・表示倍率固定機能
・一括印刷
・複数段差測定
・ステップ(測定位置確認)機能
・統計解析・保存(平均/最大/最小/標準偏差)
・自動段差解析
・ファイル自動保存
・プロフィールデータのテキスト形式保存
・リアルタイム波形表示

解析システム 補助機能（TDA-31)
・測定とデータ処理の並列処理
・ピーク(ボトム)ホールド
・Z原点シフト
・水平方向回転
・上下反転
・部分抜き取り
・任意方向の二次元データ抜き取り

アフターメンテナンス

測定の精度を保証するため定期的な校正が必要となります。購入後の装置の校正を含めたアフターメンテナンスに関しては製造メーカーの「株式会社小坂研究所」にて対応いたします。
また、測定前の校正用標準サンプルも取扱っておりますので、別途ご相談ください。
「株式会社小坂研究所」はJCSS(ISO/IEC 17025)に定める校正認定機関です。標準片校正も実施しています。

その他

日本語、英語の言語対応
机、パソコン、モニター、ラック、プリンター、除振台等はオプション品でご用意できます

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