製品情報
型式:ET200A
ヤマト科学によるデモ対応可能!測定されたいサンプルのご相談も承ります
「直動式検出器」を搭載した微細形状測定機
2次元・3次元表面粗さ解析及び段差測定に最適な高精度・高分解能・優れた安定性を実現
・段差再現性1σ0.3nm以内を実現
・測定の触圧が10~500µN(1~50mgf)の直動式検出器を搭載
・微小測定力なため軟質試料面に対応
直動式検出器は、触針、差動トランスを一直線上に配置し、触針がトレースした表面の形状を正確に捉えることができるため、表面の微細形状を正確に測定することができます。
解析システム 補助機能(TDA-31)
・測定とデータ処理の並列処理
・ピーク(ボトム)ホールド
・Z原点シフト
・水平方向回転
・上下反転
・部分抜き取り
・任意方向の二次元データ抜き取り
測定の精度を保証するため定期的な校正が必要となります。購入後の装置の校正を含めたアフターメンテナンスに関しては製造メーカーの「株式会社小坂研究所」にて対応いたします。
また、測定前の校正用標準サンプルも取扱っておりますので、別途ご相談ください。
「株式会社小坂研究所」はJCSS(ISO/IEC 17025)に定める校正認定機関です。標準片校正も実施しています。
・日本語、英語の言語対応
・机、パソコン、モニター、ラック、プリンター、除振台等はオプション品でご用意できます
型式 | ET200A |
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最大サンプルサイズ | φ160×52mm |
サンプルステージサイズ | φ160mm 傾斜調整範囲:±2°(±5mm/160mm)X・Y手動 最大積載重量:2kg |
検出器 測定力 | 10μN~500μN (1mgf~50mgf) |
検出器 測定範囲 | Z軸:600μm (0.0001μm/分解能), X軸:100mm (0.1μm/分解能) |
検出器 センサ | 差動変圧器 直動式 |
検出器 触針 | R2 μm 頂角60° 材質:ダイヤモンド |
駆動距離 | X軸:100mm, Y軸:25mm |
真直度精度 | X軸:0.2μm, 100mm以下 |
駆動速度 | X軸:0.005~20mm/sec, Y軸:手動移動(マイクロメータ) |
Z軸 移動量 | 54mm |
Z軸自動停止機能 | あり |
Θ軸(手動回転) | 粗動360°, 微動±5° |
表示倍率 | 縦倍率:50~2,000,000倍, 横倍率:1~10,000倍 |
再現性 | 1σ 0.3nm以内 |
外寸法(幅×奥行×高さ) | 500×440×630mm |
備考(寸法) | (突起等を含まず) |
重さ | 120kg |
電源容量 | 単相AC 90~240V 50/60Hz 300VA |