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オプション

RE601/801用真空ポンプ制御ユニット

RE601/801用真空ポンプ制御ユニット(ORE60)

オプション概要


RE601/801用真空ポンプ制御ユニット(ORE60)の特徴

RE601/801 型に真空ポンプを接続する時に、RE 本体の起動、停止に連動して真空ポンプの電源
をON/OFF したり、真空調節器の持つオートクリーニング機能によりRE 本体の運転終了後、ポ
ンプ停止を3 分間遅らせ、真空経路の残留物を排気する機能を有しています。