高精度で持ち運び可能な膜厚計

スマート膜厚計（SM-100S）の特徴

スマート膜厚計とは？

「測りたい“その場”ですぐに測れない」、「人によってバラつく測定結果」、「測定精度が悪い」。
膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか？スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。

• 「持ち運び可能なハンディタイプ」：1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単。
• 「高精度測定＆簡単測定」：最薄1 μｍまで検量線不要で測定できます。
• 「非破壊・非接触測定」：サンプルを傷つけることもなく測定します。
• 「様々なサンプルを測定」：基材（ガラス・プラスチック）を選ばず測定可能。

膜厚の測定原理：反射分光法（光干渉法）

スマート膜厚計は反射分光法（光干渉法）という方式で膜厚測定します。例えば、基板上にコーティングされた膜を測定する場合、対象サンプル上方から入射した光は膜表面で反射します（図中のR1）。さらに膜を透過した光が基板や膜界面で反射します（図中のR2）。このときの光路差による位相のずれ（位相差）によって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を求めることが出来ます。

分かりやすく操作しやすいインターフェース

スマート膜厚計はシンプルで直感的なインターフェースを採用しています。初めての方でも簡単に測定出来ます。

• 測定結果：シンプルなインターフェースを採用しており、条件設定が簡単です。また、膜厚の絶対値が表示され、必要な測定履歴を残すことも可能です。
• 材料編集： 膜材料の詳細表示、追加、削除がなどが可能です。
• 測定結果：選択したデータをテキストファイルで保存したり、USBメモリに転送出来ます。

測定の目安

スマート膜厚計は光干渉法なので、測定する膜が光を透過する必要があります。
下記に見た目で測定できる目安をまとめましたので、ご参考ください。

【成功確率 90％以上】

基板にはっきり映る、虹が浮かぶ、無色透明

【成功確率70％程度】

色付き（黒白以外）

【成功確率30％程度】

基板にぼんやり映る

【成功確率10％以上】

基板にほとんど映らない、白色・黒白・不透明

オプション

• ペン型プローブ（画像左）
  狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能です。
• 非接触ステージ（画像右）
  ウェットな膜や半導体ウエハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して、非接触で測定可能です。

主な測定事例

• シリコンやガラス表面上の薄膜（SiO2、フォトレジスト、など）の膜厚
• 表面保護、接着性向上、耐熱性強化を目的とした樹脂や金属上のコーティング材（フッ素系樹脂、ポリイミド、アクリル、シリコーン、など）の膜厚
• フィルム（ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、など）そのものの膜厚

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