世界初のラマンイメージングとSEMの完全合体

ラマンSEM複合装置（RISE）の特徴

製品概要

ラマンSEM複合装置RISE から得られるラマンスペクトルにより、物質濃度や含有量、分子の構造、さらには変形・応力などの構造変化など、様々な情報が得られます。

具体的に、ラマンスペクトルから下記の情報を得ることが出来ます。
・スペクトル強度：化学物質の濃度・含有量、結晶方位、欠陥など
・ピーク位置：分子・格子構造など
・ピーク位置シフト：変形・応力/歪・温度など
・スペクトル幅：結晶性・異方性・欠陥・ドーパント濃度など
・強度比：相対濃度・含有量など
・偏光：結晶方位、配向性

WITec（ビーテック）の共焦点ラマン顕微鏡システムは、高感度共焦点顕微鏡と高スループットの分光器システムにより、比類なき高感度を実現しています。そして速度、感度、分解能においてどれも妥協することなく最高性能を実現しています。

RISE手法

RISE顕微鏡では、SEMチャンバー内で試料をSEM観察位置からラマン観察位置（または、逆方向）へ自動的に搬送します。このような測定の流れで、観察効率を劇的に向上させています。

光軸調整が不要

WITec の共焦点ラマン顕微鏡システムは光ファイバで接続されているため光軸がずれません。このため、分光器や顕微鏡本体内にレンズ・ミラーなどの光学部品が少なく、 日々の光軸調整が不要です。

観察例

特長

～走査型電子顕微鏡(SEM)～
・フルコンピュータ制御SEM
・多様な電子銃に対応：タングステン、LaB6、ショットキーFE
・電子線とFIBの組み合わせ可
・高真空、低真空モード　オプション
・様々な動作モードや表示モードに広く対応
・In-Flight Beam Tracing機能が、電子ビームの電流とスポットサイズを適切に制御
・先進の3D Beam Technologyでリアルタイムでのステレオ観察と3D観察が可能

～共焦点ラマン顕微鏡～
・かつてない速度、感度、分解能を持つ共焦点ラマン顕微鏡
・すべての画素で得られるラマンスペクトルからラマンイメージを生成
・理論分解能まで達成した横方向200-300nmの分解能
・傑出した深さ分解能は、3次元イメージングや深さプロファイルに最適
・レンズ方式の高スループット分光器の採用により高感度/高分解能スペクトラム測定
・オプションで0.76msec/スペクトラムの高速ラマンイメージングが可能
・非破壊測定：試料の固定、染色が不要