製品情報
型式：Handilaz®Mini II
低価格ながら、0.2μmから10μmまで、10nm単位に任意の粒径をいくつでも選択、同時計測可能
・シンプルで直観的なユーザーインターフェース
・SDカードスロット内蔵、USB端子搭載
・幅81mmの手のひらサイズ
・軽量830g
・着脱可能な充電式バッテリーで連続5時間使用可能
・カラー・タッチスクリーンとボタン1つで簡単操作
・計測結果を視覚的にわかりやすくスクリーンに表示
・内蔵の温度センサーと差圧センサーのアウトプットを反映するアルゴリズムにより高い精度で計測
・ISO 21501-4の要件を満たす性能
・ISOクラス3からクラス6（ISO 14644-1:2015）の清浄度を検証
・クリーンルームの清浄度検証 (ISOクラス3 - クラス6)
・ユースポイントでのパーティクル検出
・トラブルシューティング、汚染源の特定
・フィルターのリーク検査
・半導体製造プロセスおよび半導体製造装置内のパーティクル検出
| 型式 | Handilaz®Mini II |
|---|---|
| 可測粒径範囲 | 最小：0.2 μm (計数効率50%)／最大：10 μm |
| 粒径チャネル | 0.2 μm - 10 μm の範囲で任意に設定可能、粒径チャネル数の上限なし |
| 吸引流量 | 2.83 LPM／0.1 CFM、自動調整機能搭載 |
| 試料圧力範囲 | 1 Pa - 115 kPa、自動調整機能搭載 |
| レーザー光源 | 長寿命のハイパワー・レーザーダイオード |
| 内臓バッテリー | 着脱可能なリチウムイオン電池、駆動時間：最大10時間／5時間連続使用可能 |
| データ保存 | 外部メモリー、SDカードスロット内蔵 |
| 外部接続ポート | USB端子×1 |
| 表示部 | 3.5インチ カラーLCD |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 81×43×137mm |
| 重さ | 0.83kg |
| 適合規格 | 校正：ISO 21501-4 、清浄度クラス：ISO 14644-1:2015 |
| 温湿度センサー | 温度：内蔵センサーは 0 - 50 °C ± 0.1 °C／外付けセンサーは 0 - 50 °C ± 0.5 °C 湿度：外付けセンサーのみで 5 – 95% ± 2% |
| 使用環境 | 温度：15 - 35 °C |
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