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科学・産業機器

プラズマ装置

プラズマ装置のご案内

研究開発用からプロセス用まで超微細加工、表面処理・改質等のニーズにお応えします。
プラズマ装置は、半導体をはじめ電子材料、ドライ洗浄の利用分野がますます広がっています。
例えば、シリコンウエーハのレジスト剥離、有機膜の除去、界面活性、マイクロ研磨、あるいはカーボン被膜の除去等、広くその効果を発揮しています。ヤマト科学では、研究開発用はもとよりプロセス用までニーズに対応したプラズマ装置をご提供します。