製品情報
商品コード:215015
型式:PM100
小型卓上バレル式は空気を反応ガスとして使用可能
反応ガスとして、空気を使用しますので、お手軽にご利用できます。
バレル型で等方性のため、チャンバ全体にプラズマが発生します。
周波数の低い波長を使用しているのでソフトなプラズマのためダメージが少なく生化学系に最適です。
操作が簡単でユーティリティーもありません。
騒音、振動、有害ガスの発生もありません。
●生化学(ガラス基板上の有機膜処理)
●ガラス器具等の洗浄(殺菌)
●自然膜の除去
●TEM、SEM、FIB、試料ホルダ等のクリーニング
●分析機器等のセンサープローブ処理
●塗膜等の加速度試験
●PDMSチップとガラス、PDMS板との貼り合わせに使用
●塗膜等の劣化、加速度試験
商品コード | 215015 |
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型式 | PM100 |
プラズマ発生源 | 低周波高電圧電源 |
ガスフローメータ | 酸素ガス用、流量30~300mL/min |
ユーティリティ 真空ポンプ接続口 | 外径φ15mmホース継手付き(推奨ポンプは排気速度30L/min) |
ユーティリティ ガス接続口 | 外径φ6.35mm配管接続用継手付き |
付属品 | 試料棚 |
内寸法(径×奥行) | φ100×160mm |
外寸法(幅×奥行×高さ) | 310×300×448mm |
備考(寸法) | 突起部含まず |
電源容量 |
AC100VV
10A
ブレーカ容量および電源設備容量 15A。(真空ポンプmax7A含む) |
重さ | 16kg |
価格(税抜) | 1,323,000円 |
本装置の出力は届出を必要としない50W以下の製品となっていますので届出は不要です。
真空度が高すぎるか低すぎてプラズマが発生していない可能性があります。
ガス流量を調整して復旧しなければ、真空ポンプのオイル劣化が進行していないか確認し、オイルが劣化していれば交換してください。
以上で解消しない場合真空ポンプが老朽化あるいはオイルが劣化した状態で使用し続けたことで能力が出ない状態になっている、あるいはPM100の高周波電源が短絡している可能性があります。
ご購入いただいた販売窓口担当者か弊社WEBサイト お問い合わせお申し込みフォームへ点検修理をご依頼ください。
真空引き異常です。
真空バルブが閉じている又は開度が小さい場合は真空バルブを開けてください。
パージバルブが開いている場合は閉めてください。
ドアに異物が挟まっていないか、Oリングに傷がないか、配管にゆるみがないかなど、リークしていないか確認してください。
高電圧電源ユニットのヒートシンク温度が90℃を超えています。
高電圧電源ユニットが冷却するまで運転を停止し、装置背面の排気ファンを塞いでいないかを確認してください。
排気ファンを塞いでいない、再発する場合は高電圧電源ユニットに何らかの異常が生じている可能性があります。
ご購入いただきました販売窓口担当者またはお客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。
付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。
高分子材料の表面改質による接着強度の向上処理などに向いています。
特にPDMSなどシリコーンゴムのような処理効果が強すぎると硬化して自己吸着性を損ねるような材質に向いています。
発信周波数が100kHz以下で電源出力が50W未満固定の為アッシングレートは遅いので、レジストアッシングなど厚膜の剥離処理は時間が掛かるため、不適合ではありませんが、生産工程などタクトを重視する場合はあまり向いておりません。