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製品情報

製品詳細

小型プラズマ装置

PM100

商品コード:215015

型式:PM100

チャンバ

試料棚

製品概要

小型卓上バレル式は空気を反応ガスとして使用可能

小型プラズマ装置(PM100)の特徴

特徴

反応ガスとして、空気を使用しますので、お手軽にご利用できます。

製品特徴

バレル型で等方性のため、チャンバ全体にプラズマが発生します。

製品特徴

周波数の低い波長を使用しているのでソフトなプラズマのためダメージが少なく生化学系に最適です。

製品特徴

操作が簡単でユーティリティーもありません。

製品特徴

騒音、振動、有害ガスの発生もありません。

用途

●生化学(ガラス基板上の有機膜処理)
●ガラス器具等の洗浄(殺菌)
●自然膜の除去
●TEM、SEM、FIB、試料ホルダ等のクリーニング
●分析機器等のセンサープローブ処理
●塗膜等の加速度試験
●PDMSチップとガラス、PDMS板との貼り合わせに使用
●塗膜等の劣化、加速度試験

主な仕様

仕様


商品コード 215015
型式 PM100
プラズマ発生源 低周波高電圧電源
ガスフローメータ 酸素ガス用、流量30~300mL/min
ユーティリティ 真空ポンプ接続口 外径φ15mmホース継手付き(推奨ポンプは排気速度30L/min)
ユーティリティ ガス接続口 外径φ6.35mm配管接続用継手付き
付属品 試料棚
内寸(径×奥行) φ100×160mm
外寸(幅×奥行×高さ) 310×300×448mm
備考(寸法) 突起部含まず
電源容量 AC100VV 10A
ブレーカ容量および電源設備容量 15A。(真空ポンプmax7A含む)
重さ 16kg
価格 1,200,000円

備考
価格に真空ポンプは含まれておりません。


FAQ

Q 小型プラズマ装置PM100型のデモ機を借りる予定ですが、電波法の高周波利用届けは出さなくて良いのでしょうか?
A

本装置の出力は届出を必要としない50W以下の製品となっていますので届出は不要です。

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