| 型式 | 検出方式 | 光源 | カンチレバー加振方式 | 基本機能 | 除振・防音機構 | 電源容量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| AFM100 | 光てこ方式 | SLD（スーパールミネッセントダイオード） | ピエゾ励振 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状 | 卓上除振台 | AC100V±10 V 15A 1系統、D種接地 接地付コンセント |
| AFM100 Plus | 光てこ方式 | SLD（スーパールミネッセントダイオード） | ピエゾ励振 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御 | エア供給式パッシブ除振台・防音カバー | AC100V±10 V 15A 1系統、D種接地 接地付コンセント |
| AFM100 Pro | 光てこ方式 | 高周波変調LD（レーザダイオード） | 光熱励振/ピエゾ励振 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御 | エア供給式パッシブ除振台・防音カバー | AC100V±10 V 15A 1系統、D種接地 接地付コンセント |
