◇大型基板対応　超高分解能◇　縦照射型 斜めCTシステム　XVA-160□520

X線CTシステム（XVA-160□520）の特徴

大型サイズの基板に対応したハイエンドモデルです。
520mm×520mm範囲のどこでも透過撮影、斜めCT撮影が可能です。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・超高倍率2000倍
・フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
・高精細トップテーブル
・光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能
・可視光マッピング機能

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット：Presto
・Advance機能（新アルゴリズムによる再構成処理で画質の向上が見込めます。）

機能紹介

◇ユーセントリック機能（特許取得済　No.3657768）◇
　着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。
　独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます。

●撮影事例（動画）

◇3次元斜めCT機能（特許取得済　No.3694833）◇
　大型基板でも破壊せずに断層撮影が可能。
　ユーセントリック機能を利用し、斜め方向から観察して3次元断層撮影を行います。

お問い合わせ

ヤマト科学拠点営業またはX線CTグループ
X線CTグループ
E-MAIL：xct@yamato-net.co.jp
TEL： 03-5639-6045