X線CT装置

ユー・エイチ・システム社のナノ/マイクロフォーカス3次元X線CTシステムの特長をご紹介いたします。
3次元斜めCT機能、ユーセントリック機構(着目中心回転)、使いやすさを追及したソフトウェアなど独自の技術をベースに、超高倍率での透過/CT撮影が可能な3次元X線CT装置です。

◇超高分解能◇　縦照射型 斜めCTシステム　XVA-160αⅡZ

超高倍率2,000倍、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデルです。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・超高倍率2000倍
・フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
・高精細トップテーブル
・光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット：Presto
・可視光マッピング機能

◇スタンダードモデル◇ 縦照射型 斜めCTシステム XVA-160RZ

倍率1600倍まで対応の高精度ステージを備えた、コストパフォーマンスに優れたモデルです。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・高倍率1600倍
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット：Presto

◇大型基板対応◇ 縦照射型 斜めCTシステム EVA-160

500mm基板も搭載可能な大型ステージを採用した、大型サンプル向けモデルです。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・大型ステージ搭載(500mm基板対応)
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット：Presto

◇CE規格対応◇ 縦照射型 斜めCTシステム XVA-160RCE

従来機よりも省設置スペースを実現しました。（従来比30%減）
透過・CT両機能を兼ね備えたデスクレス仕様のオールインワンNEWモデルです。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・高倍率1600倍
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能
・CE規格対応
・シグナルタワーUPS搭載

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット：Presto

機能紹介

◇ユーセントリック機能（特許取得済　No.3657768）◇
　着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。
　独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます。

●撮影事例（動画）

◇3次元斜めCT機能（特許取得済　No.3694833）◇
　大型基板でも破壊せずに断層撮影が可能。
　ユーセントリック機能を利用し、斜め方向から観察して3次元断層撮影を行います。

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