製品情報
機能性を追求した全自動モデル
ISPP-3000は、画面に沿って研磨条件を選択することで熟練者の技術を再現できます。
ISPP-3000は、精密研磨作業工程での問題点の解決策が凝集されたシステムです。
ISPP-3000には、次のような特長があります。
条件の数値化で自動化できます。
研磨荷重を選択します。
研磨量を1〜2ミクロン単位で設定できます。
条件をメモリに残せるので再現性を向上できます。
露出させたい特定部位を晶出させないように、削り量を1ミクロン単位で設定できる機能です。
IS-POLISHERの荷重設定機能は、天秤の原理を応用した機構で自重を一旦ゼロとした後、必要最低限の荷重をかけることで、試料に瞬間的にかかる負荷を軽減させています。これにより荷重をかけすぎることで生じる、表面の結晶構造の歪みを抑えることができます。ISPP-3000ではこの機構をモーターによって制御しています。
削り量設定機能とは、露出させたい特定部位を消失させないように削り量を設定する機能です。試料の位置を自動検出し、削る量を1ミクロン単位で設定できます。
基準位置検出ボタンを押します。
試料を盤面にタッチさせ、基準位置を検出します。
削り量を入力します。
設定した削り量に到達すると自動停止します。
停止後、待機位置に自動退避します。
試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮できます。
| 型式 | ISPP-3000 |
|---|---|
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 630×690×470mm |
| 備考（寸法） | 配管・配線・給水ユニット含まず、可動部分移動範囲含む |
| ターンテーブル径 | φ230 |
| 研磨盤 | 着脱式、研磨材は粘着加工したシート・フィルム状のものを貼付 |
| 使用可能研磨材 等 | 耐水研磨紙、研磨フィルム（水、アルコール系研磨液併用可）、 ダイヤモンド/アルミナ/酸化セリウム等を用いたバフ研磨、 コロイダルシリカ等使用よる化学的機械研磨 |
| 重さ | 55kg |
| ターンテーブル 回転数 | 12.5～300rpm（9段階） |
| 回転精度 | 設定値±15%以内 |
| 研磨適用サイズ | Φ1.25インチまで、厚み5㎜幅40㎜までの板状端面等（目安） |
| 電源 | AC100〜240V ±10V 50/60Hz |
| 給水 | 給水経路を組込み済。オプションの給水機より、自動給水可能 |
| 排水口 | 背面側に内径φ12ホース用ニップル |
| 操作パネル | 7インチワイド型LCDタッチパネル |
| スイッチ | 電源スイッチ(照光式)、非常停止ボタンスイッチ |
ヤマト科学の全製品、及び一部取り扱いメーカーの製品カタログです。
製品に関するお問い合わせや資料請求、またその他あらゆるお問い合わせやご意見等、こちらからご送信いただけます。
