求められる高性能と汎用性を融合したSE series

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡（SU3800SE/SE Plus）の特徴

SU3900/SU3800SE Seriesは、FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル(2タイプ2グレード)をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。

できることの拡大、大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM

電子顕微鏡による形状評価はあらゆる材料評価・解析の入口でもあり、可能な限り本来の形状を有したまま試料を搭載し観察をしたい要求が常に存在します。
SU3900/SU3800SE Seriesは非導電性試料に対しては、導電性処理(金属コーティング)をすることなく、且つ大型重量物試料に対しては切断等の破壊処理をせずそのまま試料台に搭載して、多角度からの観察が可能となる高剛性多目的試料室を有しております。

見えなかったものが見える、一つ上の高分解能・極表面観察

新開発のショットキー電子銃を搭載することで、高加速電圧・低加速電圧いずれの領域においても解像度を向上させました。さらに、極最表面の詳細観察に対する要望にこたえるため、アドバンストモデル(SE Plus)も準備いたしました。
また、組成・凹凸情報の取得には取得信号切替可能な低加速高感度反射電子検出器も標準搭載。
オプションのUVD検出器と合わせて多種情報取得による多面解析が可能となります。

ユーザビリティーを支える、自動化・サポート機能

SU3900/SU3800SE Seriesは光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。
また、オプション機能【EM Flow Creator】を用いることで、連続画像取得などの操作の自動化サポートを行います。
倍率やステージ位置などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM機能をブロック化し、それらを自由に組み合わせることで一連の観察レシピを作成し、お客様それぞれの観察レシピを作成することができます。
レシピはブロックをドラッグ＆ドロップし、フローのように配置することで作成可能で、作成したレシピを実行することで自動観察が可能になります。