求められる高性能と汎用性を融合したSE series

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡（SU3900SE/SE Plus）の特徴

できることの拡大、大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM

電子顕微鏡による形状評価はあらゆる材料評価・解析の入口でもあり、可能な限り本来の形状を有したまま試料を搭載し観察をしたい要求が常に存在します。
SU3900/SU3800SE Seriesは非導電性試料に対しては、導電性処理(金属コーティング)をすることなく、且つ大型重量物試料に対しては切断等の破壊処理をせずそのまま試料台に搭載して、多角度からの観察が可能となる高剛性多目的試料室を有しております。

見えなかったものが見える、一つ上の高分解能・極表面観察

新開発のショットキー電子銃を搭載することで、高加速電圧・低加速電圧いずれの領域においても解像度を向上させました。さらに、極最表面の詳細観察に対する要望にこたえるため、アドバンストモデル(SE Plus)も準備いたしました。
また、組成・凹凸情報の取得には取得信号切替可能な低加速高感度反射電子検出器も標準搭載。
オプションのUVD検出器と合わせて多種情報取得による多面解析が可能となります。

ユーザビリティーを支える、自動化・サポート機能

SU3900/SU3800SE Seriesは光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。
また、オプション機能【EM Flow Creator】を用いることで、連続画像取得などの操作の自動化サポートを行います。
倍率やステージ位置などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM機能をブロック化し、それらを自由に組み合わせることで一連の観察レシピを作成し、お客様それぞれの観察レシピを作成することができます。
レシピはブロックをドラッグ＆ドロップし、フローのように配置することで作成可能で、作成したレシピを実行することで自動観察が可能になります。