リガク社独自の高輝度Ｘ線発源と高分解能Ｘ線カメラの組み合わせにより、サブミクロン領域が観察できるＸ線顕微鏡が誕生

高分解能3D　X線顕微鏡（nano3DX）の特徴

標準仕様

・自社開発の安定性高い高輝度X線源(1.2kW)を搭載
・高感度高分解能X線カメラ(0.32µm/pixel)により短時間で高分解能画像を取得
・疑似平行ビーム方式により歪みの少ないシャープな画像
・試料に応じた特性X線で有機物、軽元素材料も高コントラスト観察

オプション機能

・位相回復ソフトウェアで更なる高コントラスト画像取得可能
・各種アタッチメントで“In-situ測定”

機能紹介 ①高い空間分解能（nano3DX）

疑似平行ビーム＋レンズ拡大方式により焦点移動に伴う分解能低下を低減

疑似平行ビーム方式(nano3DX)
　疑似平行ビーム方式による近接撮影のため、 X線源のゆらぎの影響を受けにくい光学系



コーンビーム方式(従来方式)
　拡大投影方式のため、X線源・試料のゆらぎが拡大され、像のブレを生む

機能紹介 ②高コントラスト（nano3DX）

観察試料・目的にあわせて選択できるX線エネルギーの異なる4種のX線源(W/Mo/Cu/Cr)