リガク社独自の高輝度Ｘ線発源と高解像度Ｘ線カメラの組み合わせにより、サブミクロン領域が観察できるＸ線顕微鏡が誕生

高分解能3D　X線顕微鏡（nano3DX）の特徴

標準仕様

・疑似平行ビーム光学系採用
・自社開発の1.2kW高輝度X線源（ターゲット材：Cr, Cu, Mo, W）
・特性X線による低ノイズ高コントラスト画像取得
・最小0.188μm/pixel、最大視野φ14.4mmの高解像度X線カメラ
・空間分解能 0.5μm（最小）

オプション機能

・位相回復ソフトウェアで更なる高コントラスト画像取得可能
・各種アタッチメント(加熱、冷却、圧縮、引張)を用いた“in-situ撮影”が可能

機能紹介 ①高い空間分解能（nano3DX）

疑似平行ビーム＋レンズ拡大方式により焦点移動に伴う分解能低下を低減

疑似平行ビーム方式(nano3DX)
　疑似平行ビーム方式による近接撮影のため、 X線源のゆらぎの影響を受けにくい光学系



コーンビーム方式(従来方式)
　拡大投影方式のため、X線源・試料のゆらぎが拡大され、像のブレを生む

機能紹介 ②高コントラスト（nano3DX）

観察試料・目的にあわせて選択できるX線エネルギーの異なる4種のX線源(W/Mo/Cu/Cr)

位相回復処理で更なる高コントラスト画像取得が可能