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機器

X線CT装置

リガク社X線CT装置システム

製品概要

リガク社のX線CT装置の特長をご紹介いたします。
お客様の多種多様な試料に対応するため、高分解能型、デスクトップ型、多目的大型と幅広いラインナップのX線CT装置を有し、全機種ユーザーフレンドリーな自社製ソフトウェア(制御、再構成、データ管理、画像表示)を搭載しています。どの装置にも長年のX線分析機器開発で培ったX線撮像技術を惜しみなく搭載しており、課題解決に向けて最適なX線CT装置をご選択頂けます。

高分解能3D X線顕微鏡 nano3DX

◇リガク社独自の高輝度X線発源と高分解能X線カメラの組み合わせにより、サブミクロン領域が観察できるX線顕微鏡が誕生◇

標準仕様
・自社開発の安定性高い高輝度X線源(1.2kW)を搭載
・高感度高分解能X線カメラ(0.32µm/pixel)により短時間で高分解能画像を取得
・疑似平行ビーム方式により歪みの少ないシャープな画像
・試料に応じた特性X線で有機物、軽元素材料も高コントラスト観察

オプション機能
・位相回復ソフトウェアで更なる高コントラスト画像取得可能
・各種アタッチメントで“In-situ測定”

機能紹介

① 高い空間分解能(nano3DX)

疑似平行ビーム+レンズ拡大方式により焦点移動に伴う分解能低下を低減

疑似平行ビーム方式(nano3DX)
 疑似平行ビーム方式による近接撮影のため、 X線源のゆらぎの影響を受けにくい光学系
 

コーンビーム方式(従来方式)
 拡大投影方式のため、X線源・試料のゆらぎが拡大され、像のブレを生む


② 高コントラスト(nano3DX)

観察試料・目的にあわせて選択できるX線エネルギーの異なる4種のX線源(W/Mo/Cu/Cr)
 


 


各線源による代表的なサンプル測定例


位相回復処理で更なる高コントラスト画像取得が可能
位相回復処理なし  位相回復処理あり

インスタントカフェオレの粉
 

デスクトップ3D マイクロX線CT CT Lab HX100 / 130

◇高速・高解像度・広視野・コンパクトなデスクトップCT◇

標準仕様
・高エネルギー・高出力 X線源搭載(100kV-20W, 130kV-39W)
・空間分解能 3μm(HX100)/4μm(HX130)
・高速18秒スキャン/再構成10秒以下のハイスループットシステム
・φ200×150mm広視野観察

オプション機能
・最大16試料のオートサンプルチェンジャー
・6種類のオートフィルターチェンジャー
 

画像事例

① 高い汎用性(HX)


スマートフォン

 


チップインダクタ
(スマートフォン上)

 


コンデンサ


② 高い汎用性(HX)


リチウムイオン電池

 


CFRP

高出力高分解能 マイクロX線CT CT Lab HV

◇広視野高出力スキャン、微小部高分解能スキャン対応◇

標準仕様
・高電圧/高出力 X線源搭載(225kV-300W)
・高速スキャン/高分解能スキャン対応(最速32秒, 空間分解能3μm)
・大型試料設置可能φ600×1200mm 50kg
・φ350×230mm広視野観察

オプション機能
・最大16試料を連続撮影可能なオートサンプルチェンジャー
・大型キャビネットを活かしたカスタム対応(in-situ観察など)

画像事例

① 大型試料から高分解能撮影まで(HV)

大型試料も楽々設置

200×170×70 mm のリチウムイオン電池


② 大型試料から高分解能撮影まで(HV)

リチウムイオン電池(18650)
アノードオーバーハング解析

リチウムイオン電池内部基板
ワイヤー状態確認

分解能チャート

お問い合わせ

主な仕様

仕様


型式 管電圧(KV) ディテクタ 空間分解能(μm) ボクセルサイズ(μm) 試料サイズ(mm) 最大撮影視野(mm) 外寸法(幅×奥行×高さ) 重さ
nano3DX ~60 sCMOS(X線カメラ) 0.5~1 0.32 φ10×50 φ10.6×10.6 1300×660×1640mm 600kg
CT Lab HX100 ~100 FPD(フラットパネル) 3 1.3 φ200×270 φ200×150 980×700×580mm 380kg
CT Lab HX130 ~130 FPD(フラットパネル) 4 2.1 φ200×270 φ200×150 980×700×580mm 380kg
CT Lab HV ~225 FPD(フラットパネル) 3~4 1.5 φ600×1200 φ350×230 2250×1820×2160mm 4000kg