製品情報
小型・低価格。簡単操作で非接触膜厚測定。
分離タイプの膜厚系計の問題を打破し、安定した絶対反射率からの、安定した膜厚値の取得が可能となりました。シンプルな装構成でセットアップも簡単
インライン測定で実績のある分光器の採用で、連続測定の繰り返し性および長期におけるデータ再現性を確保。測定・膜厚算出までを最短0.1秒と短時間
スッポト径がミリメーターオーダー。微小領域測定のようなフォーカシングが不要な光学系。ベタ膜等での膜厚測定に最適です。
| 型式 | FE-300 |
|---|---|
| 測定時間 | 0.1 - 10 秒 |
| 測定波長範囲 | 300 - 1600 nm （FE-300のタイプにより異なります） |
| 測定膜厚範囲 | 10nm - 240μm （FE-300のタイプにより異なります） |
| 測定項目 | 膜厚値、絶対反射率、光学定数（n屈折率・k消衰係数） |
| 解析アルゴリズム | ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析、最小二乗法解析 |
| 内寸法（径×高さ） | φ200×5mm |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 280×570×350mm |
| 備考（寸法） | 内寸法とは、サンプルサイズを表しています。また、光学系本体のみの寸法です。他にノート型PCが標準装備されています。 |
| 電源容量 | AC100V 3A |
| 重さ | 24kg |
| 備考（重さ） | 光学系本体のみの重量です。他にノート型PCが標準装備されています。 |
| 価格（税抜） | 3,500,000円～ |
納品検収後１年間
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