製品情報
◇大型基板対応◇ 縦照射型 斜めCTシステム EVA-160
◇ユーセントリック機能（特許取得済 No.3657768）◇
着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。
独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます。
●撮影事例（動画）
ユーセントリックあり
他社製品
◇3次元斜めCT機能（特許取得済 No.3694833）◇
大型基板でも破壊せずに断層撮影が可能。
ユーセントリック機能を利用し、斜め方向から観察して3次元断層撮影を行います。
ヤマト科学拠点営業またはX線CTグループ
X線CTグループ
E-MAIL：xct@yamato-net.co.jp
TEL： 03-5639-6045
| 型式 | EVA-160 |
|---|---|
| 管電圧（KV） | 20～160 |
| ディテクタ | FPD（フラットパネル） |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 1800×1740×1620mm |
| ステージサイズ（mm） | 660x670 |
| ストローク（mm） | 350x350 |
| ステージ回転角度 | ±190 |
| カメラ傾斜角度 | 0～70 |
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