◇大型基板対応◇　縦照射型 斜めCTシステム　EVA-160

X線CTシステム（EVA-160）の特徴

500mm基板も搭載可能な大型ステージを採用した、大型サンプル向けモデルです。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・大型ステージ搭載(500mm基板対応)
・可視光マッピング機能
・フォーカス自動調整機能

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット：Presto
・Advance機能（新アルゴリズムによる再構成処理で画質の向上が見込めます。）

機能紹介

◇ユーセントリック機能（特許取得済　No.3657768）◇
　着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。
　独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます。

●撮影事例（動画）

◇3次元斜めCT機能（特許取得済　No.3694833）◇
　大型基板でも破壊せずに断層撮影が可能。
　ユーセントリック機能を利用し、斜め方向から観察して3次元断層撮影を行います。

お問い合わせ

ヤマト科学拠点営業またはX線CTグループ
X線CTグループ
E-MAIL：xct@yamato-net.co.jp
TEL： 03-5639-6045